【中瓷电子：公司产物已批量利用于国产半导体关头装备中】中瓷电子在互动平台透露表现，公司紧密陶瓷零零件是采取氧化铝、氮化铝等进步前辈陶瓷经紧密加工后制备的半导体装备用焦点零零件，具备高强度、耐侵蚀、高精度等优良机能，利用于刻蚀机、涂胶显影机半岛官方网站、光刻机、离子注入机等半导体关头装备中。公司已开辟了紧密陶瓷零零件用氧化铝、氮化铝焦点质料和配套的金属化系统，成立了美满的紧密陶瓷零零件制作工艺平台，开辟的陶瓷加热盘产物焦点手艺目标已到达国际和国内同类产物程度并经过用户考证，竣工了关头零零件的国产化，已批量利用于国产半导体关头装备中。

　　中瓷电子在互动平台透露表现，公司紧密陶瓷零零件是采取氧化铝、氮化铝等进步前辈陶瓷经紧密加工后制备的半导体装备用焦点零零件，具备高强度、耐侵蚀、高精度等优良机能，利用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等关头装备中。公司已开辟了紧密陶瓷零零件用氧化铝、氮化铝焦点质料和配套的金属化系统，成立了美满的紧密陶瓷零零件制作工艺平台，开辟的陶瓷加热盘产物焦点手艺目标已到达国际和国内同类产物程度并经过用户考证，竣工了关头零零件的国产化，已批量利用于国产关头装备中。